狗万manbetx手机版登录官网富士电气杂志第70卷第8期(8月/ 1997)
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洁净室系统 |
洁净室系统的现状与展望
横卷博之，苏和伸行
在半导体、医药和食品制造中，需要洁净室来提高收率和保持安全性。作为一个典型的例子，显著改进的DRAM微加工需要洁净的房间，不仅可以减少灰尘颗粒，还可以减少化学污染物。本文介绍了富士电机在洁净室、减少化学污染的狗万manbetx手机版登录官网下一代设备和现场清洁施工方面的发展。
超级洁净室系统
Hideki Kazumi, Narumi Fujies, Tomiyuki Takahashi
洁净室广泛应用于制造半导体、电子零件和精密设备的工业工厂，以及药品和食品的制造过程中，已成为这些领域不可或缺的一部分。在半导体生产中，随着大规模集成电路小型化和集成化的推进，除了常见的粉尘颗粒外，化学污染物也对生产的良率产生了影响。本文介绍了洁净室系统在减少化学污染物方面与传统系统一样的优点。
药品生产洁净室系统
鸟岸雄一郎，松木美纪夫，Oowa忠，
药品生产中产品质量的提高越来越受到重视。特别是在1994年GMP(良好生产规范)修订中，产品质量评价的验证是必不可少的条件，因此，洁净室也对系统和设备提出了更高的可靠性要求。本文介绍了这些洁净室系统和设备(风淋室、通箱、洁净室等)与一般工业洁净室的不同之处以及最新的技术进展。
洁净室最新设备
泽田友之，米和义弘，河原裕二
随着半导体等电子设备的显著发展，洁净室设备不断地要满足苛刻的要求。特别是在目前的超级洁净室中，针对化学气体的措施的重要性引起了人们的关注，富士电机正在推动符合要求的洁净室设备的开发。狗万manbetx手机版登录官网本文介绍了洁净室设备的发展趋势，并列举了洁净室设备的供应情况。
化学污染物评价
Sawatari直彦，Hiruta玲子，岩田秀之
在制造前沿设备(包括半导体和磁性工作台)的洁净室的建设中，由于无机和有机气体的排出对产品特性有害，控制化学污染物对提高收率和性能非常重要。本文以化学污染物微量元素测定为例，介绍了洁净室材料选择的气体污染物测量技术和洁净室建成后评价洁净性的化学污染物分析。
洁净室气流模拟
Toshigami Kohji, Hiragushi Yukari, Satoshi Matsumoto
本文介绍了富士电机洁净室空气流动模拟设计的两个实例。狗万manbetx手机版登录官网(1)对自动导引飞行器周围气流进行三维分析，检验分析程序的适用性，并与视觉实验进行对比。两者的结果非常相似，证明了数值分析的有效性。结果表明，该程序更适用于车辆在网格上移动时的实际情况。(2)在实际设计过程中进行了二维气流分析，检验洁净室光栅的开孔比是否合适。
洁净室电力供应系统万博手机下载
久下丰，小田真司，三桥正典
洁净室广泛应用于半导体、电子、精密机械、医药制造、广告食品等行业。其供电系统要求高可靠性和低能耗。万博手机下载本文介绍了用于洁净室的变电站、不间断电源、洁净室监控器、节能热电联产和变频调速变频系统。万博手机下载它也指目前正在讨论的谐波。
IGBT交流电源调节器
谷俊弘，植松健二，大隈康宏，
狗万manbetx手机版登录官网富士电机开发了使用IGBT实现交流斩波电路的交流电源调节器(pmm - apr)，并推出了单相降压型调节器。该PWM- apr直接切断商频电源在16khz的高频与IGBT的PWM控制，以控制输出电压。万博手机下载因此，通过小容量滤波器可以使输出电压变为正弦波，输出电压和输入电流的总谐波失真系数均小于5%，完全满足谐波的调节。本文介绍了PWM-APR的优点、性能指标和主要电路结构，并对其发展前景进行了展望。
用于废物处理的ICP炬
片尻源一，坂原康
ICP(电感耦合等离子体)炬正在开发中，目的是利用热等离子体。本文概述了ICP手电筒及其应用。该火炬采用4mhz高频电源，通过轴向气体点万博手机下载火过程和火焰控制，在常压下进行热等离子体点火。与传统的电极间电弧系统相比，其最大优点是无需电极即可稳定地产生热等离子体。狗万manbetx手机版登录官网富士电机正在通过模拟来促进研究，以优化频率和火炬直径。
狗万manbetx手机版登录官网富士电气的线路不间断电源系统
小田慎司，石川义弘，横山高广
不间断电源系统(ups)广泛应用于银行机构、公用事业服务、累加系统(赛马和自行车比赛)、交通控制系统、工厂(电力和化学)、新媒体、医疗系统和信息处理服务。它们是高可靠性的电源供应系统，用于保护信息和通信设备万博手机下载，包括计算机和制造设备免受电源故障和故障的影响。本文介绍了富士电气集成电力电子、系统、数字和狗万manbetx手机版登录官网高频开关技术开发的ups生产线。
